沸石转轮中VOCs残留处理方法有哪些?由于VOCs在使用过程中在滚筒内的残留,会造成沸石转轮劣化,处理效率降低,应如何避免和应对这样的情况?
减少沸石转轮内VOCs残留量,主要是通过改善VOCs废气的进气质量和提高脱附效率来实现的。
1.废气的预处理
烟气预处理措施一般有除尘、除湿、除雾和高沸物去除等。根据所处理VOCs废气的实际情况,需要选择合适的废气预处理措施。例如,半导体制造过程中对生产场所的微粒要求很高,而生产场所通常是洁净车间。所以,有机废气中微粒含量很低,一般不需要进行除尘预处理。
2.在芯片制造过程中所用的主要有机原料一般都是低沸点,易挥发的,但也不排除有少量的高沸点物质,如脱液主成分二甘醇胺(沸程218~224℃)等。为避免VOCs废气中难脱附的高沸物进入沸石转轮,可在高沸物处理工序中增加冷凝、前道活性炭吸附等预处理设备。
无锡碳投环境有限公司高沸点VOCs容易在进入排气管后冷凝,从而增加了废气的湿度。如果有机废气的含水量在80%以上时进入沸石转轮系统,会对疏水沸石分子筛产生较大的影响。建议在高湿度废气中增设干燥除湿预处理装置,使进入污水处理厂的废气湿度保持在稳定可控范围内。